LSAT (LaAlO3)0.3-(SrAl0.5Ta0.5O3)0.7
LSAT 単結晶基板
LSATは、ペロブスカイト構造を持つ無鉛系酸化物単結晶で、酸化物エピタキシャル薄膜（特に強誘電体、超伝導体、強磁性体など）の成長用基板として広く使用されています。
物性
| 組成 | (LaAlO3)0.3-(SrAl0.5Ta0.5O3)0.7 |
|---|---|
| 結晶系 | 立方晶 |
| 結晶構造 | ペロブスカイト構造 |
| 格子定数 | a=0.7736 nm (a/2=0.3868 nm) |
| 融点 | 1840 ℃ |
| 密度 | 6.79 g/cm3(20 ℃) |
| 誘電率 | 22 (27℃,1 MHz) |
標準仕様
| サイズ (外形公差：±0.1mm 厚み公差：±0.05mm) |
10×10×0.5 t 15×15×0.5 t |
|---|---|
| 面方位 (公差：±0.5°） |
(100) |
| 研磨 | 片面研磨、両面研磨 |
| 表面粗さ | Ra≦1.0 nm Rmax≦5.0 nm |