チタン酸ストロンチウム SrTiO3
SrTiO3は代表的なペロブスカイト構造をもつ基板として、
強誘電体や超伝導体薄膜などの基板として広く使われております。
物性
| 組成 | SrTiO3 |
|---|---|
| 結晶系 | 立方晶 |
| 空間群 | Pm3m (Perovskite) |
| 格子定数 | a=0.3905 nm |
| 融点 | 2080 ℃ |
| 密度 | 5.122 g/cm3(20 ℃) |
| 誘電率 | 310 (27℃,1 MHz) |
| 熱膨張係数 | 11.1×10-6/℃（室温～1000℃） |
| 相転移温度 | 110 K（正方晶⇔立方晶） |
| 屈折率 | 2.407 (at 589 nm) |
標準仕様
| SrTiO3 | Nb(0.05 wt%):SrTiO3 Nb≒0.1 at% | Nb(0.5 wt%):SrTiO3 Nb≒1.0 at% | |
|---|---|---|---|
| 純度 | >99.98 % | >99.98 % | >99.98 % |
| 抵抗率 (Ω・cm) |
>107 | 7～10×10-2 | 3～7×10-3 |
| キャリア密度 (cm-3) |
― | 1～2×1019 | 1～2×1020 |
| 面方位 （公差：±0.5°） |
(100), (110), (111) | (100), (110), (111) | (100), (110), (111) |
| サイズ (外形公差±0.1mm 厚み公差±0.05mm) |
10×10×0.5t 15×15×0.5t |
10×10×0.5t 15×15×0.5t |
10×10×0.5t 15×15×0.5t |
| 研磨 | 片面、両面 | 片面、両面 | 片面、両面 |
| 表面粗さ | Ra ≦ 1.0 nm Rmax ≦ 5.0 nm |
Ra ≦ 1.0 nm Rmax ≦ 5.0 nm |
Ra ≦ 1.0 nm Rmax ≦ 5.0 nm |
| 平坦度 (λ=632.8 nm) |
10×10×0.5 t :≦λ 15×15×0.5 t : ≦1.5λ |
10×10×0.5 t :≦λ 15×15×0.5 t : ≦1.5λ |
10×10×0.5 t :≦λ 15×15×0.5 t : ≦1.5λ |