フッ化カルシウム(CaF2)
フッ化カルシウム(CaF2) は、紫外線(UV)から赤外線(IR)にかけて非常に広い波長範囲で高い透過率を示す光学材料です。
その優れた光学特性により、各種光学素子に幅広く用いられています。
特徴
- 広い透過範囲:真空紫外(VUV)〜中赤外(0.13~10μm)に対応
- 低屈折率:約1.43(波長0.6μm付近)で反射が少ない
- 高いレーザー耐性:レーザー光学系にも使用可能
- 化学的安定性:湿気や多くの化学薬品に対して耐性がある
- 低複屈折性:高精度な光学系に適している
用途
- 紫外線・赤外線光学用レンズやウィンドウ
- 半導体露光装置(EUV・DUV)
- レーザー光学系
- 分光分析用プリズムや窓材
- 赤外線サーモグラフィー
特性
| 基本物性 | |
|---|---|
| 材料 | CaF2 |
| 透過波長領域(µm) | 0.13~10 |
| 色 | 無色 |
| 密度(g/cc) | 3.18 |
| 融点(℃) | 1418 |
| 溶解度(g・100gH2O)(30℃) | 0.00151 |
| 分子量 | 78.08 |
| 結晶系 | 等軸晶系 |
| 結晶構造 | ホタル石型 |
| へき開面 | {111} |
| 熱的性質 | |
|---|---|
| 線膨張係数α (/℃) (20℃~60℃) | 24×10-6 |
| 熱伝導率λ (cal/cm・sec・℃) | 2.41×10-2 |
| 比熱Cp (cal/g・℃) | 0.211 |
| 機械的性質 | |
|---|---|
| ヌープ硬さ Hk | 158.3 |
| ヤング率E (GPa) | 75.8 |
| 剛性率G (GPa) | 33.77 |
| ポアソン比 | 0.26 |