カスタム加工品

半導体製造装置向けに、高純度単結晶シリコンを使用した各種精密加工品を提供しております。
お客様の図面や仕様に合わせ、サイズ・形状・結晶方位・抵抗率など、ご要望に応じたカスタム加工に対応しております。

シリコンプレート

製品名 仕様
外径 Φ475 mm以下
結晶方位 (100)、(111)
導電型 / ドーパント P型 / ボロン
抵抗率(Ω・cm) 0.01~100
厚さ カスタム対応
その他仕様 カスタム対応

シリコンリング

製品名 仕様
外径 Φ300~475 mm
内径 カスタム対応
結晶方位 (100)、(111)
導電型 / ドーパント P型 / ボロン
抵抗率(Ω・cm) 0.01~100
厚さ カスタム対応
その他仕様 カスタム対応

シリコンシリンダー

製品名 仕様
外径 Φ300~475 mm
内径 カスタム対応
長さ 260 mm以下
結晶方位 (100)、(111)
導電型 / ドーパント P型 / ボロン
抵抗率(Ω・cm) 0.01~100
厚さ カスタム対応
その他仕様 カスタム対応