合成石英インゴット

TS-1320 超低OH合成石英

用途：
高出力レーザ用レンズ、ウィンドウレンズなど
特長：
超低ヒドロキシル含有量（OH<1 ppm）
優れた光学特性
高光学均一性、低応力複屈折
深紫外（193 nm）～近赤外（2800 nm）波長帯での極めて高い透過率
低弱吸収係数
γ線耐性が高い
純度分析例
含有量（ppm, wt%） Li Na K Mg Ca Cu Al Cr Fe Ti OH
TS-1320 <0.001 <0.015 <0.005 <0.001 <0.005 <0.001 <0.003 <0.001 <0.001 <0.005 <1
光学的性質
※条線等级は ISO-10110 を参照
※蛍光測定は 254 nm のポンプ光で評価
型号 応力二重屈折（nm/cm） 気泡 条線 蛍光
TS-1320 ≤5 00級、0級 5級 軽微ブルー
屈折率均一性（Δn均一性）レベル（単位：ppm）
型号 HH H1 H2 H3 H4 H5 H10 H20
TS-1320 ≤0.5 ≤1 ≤2 ≤3 ≤4 ≤5 ≤10 ≤20
屈折率
波長 λ (nm) 屈折率 n 波長 λ (nm) 屈折率 n
248.3 1.50836 632.8 1.45711
365 1.47462 643.8 1.45679
404.6 1.4697 656.3 1.45646
435.8 1.46678 706.5 1.45523
479.9 1.46359 852.1 1.45256
486.1 1.46322 1013.98 1.45034
546.1 1.46016 1529.6 1.44436
587.6 1.45855 1970.1 1.43867
589.3 1.45849 2325.4 1.43297
Sellmeier 色散定数
型号 B1 C1 B2 C2 B3 C3 B4 C4
TS-1320 0.112372 0.006311 0.811965 0.006294 0.179903 0.0166 0.697481 77.351514

TS-320 超低OH合成石英

用途：
レーザー用レンズ、光学機器用レンズ、医療分野向け光学部品など
特長：
ヒドロキシルおよび金属不純物含有量が極めて低い
小口径の高級光学用途に最適
純度分析例
含有量（ppm, wt%） Li Na K Mg Ca Cu Al Cr Fe Ti OH
TS-320 <0.001 <0.015 <0.005 <0.001 <0.005 <0.001 <0.003 <0.001 <0.001 <0.005 <1
光学的性質
型番 光学均一性（ppm） 応力二重屈折（nm/cm） 気泡・条線等級
TS-320 NS ≤5 00級、0級、5
熱吸収係数
型番 熱吸収係数 @1064 nm（ppm/cm）
TS-320 <1
屈折率
波長 λ (nm) 屈折率 n 波長 λ (nm) 屈折率 n
248.3 1.50836 632.8 1.45711
365 1.47467 643.8 1.45679
404.6 1.46976 656.3 1.45646
435.8 1.46683 706.5 1.45523
479.9 1.46364 852.1 1.45256
486.1 1.46326 1013.98 1.45034
546.1 1.46022 1529.6 1.44436
587.6 1.4586 1970.1 1.43867
589.3 1.45854 2325.4 1.43297
Sellmeier 色散定数
型番 B1 C1 B2 C2 B3 C3 B4 C4
TS-320 0.112372 0.006311 0.811965 0.006294 0.179903 0.0166 0.697481 77.351514

TS-330 低OH合成石英

用途：
工業用レーザー光学部品、光学機器用部品、医療分野用光学部品 など
特長：
金属不純物含有量 < 50 ppb
355 nm、532 nm、1064 nm などの波長帯で高透過率を有する
純度分析例
含有量（ppm, wt%） Li Na K Mg Ca Cu Al Cr Fe Ti OH
TS-330 <0.001 <0.015 <0.010 <0.001 <0.005 <0.001 <0.003 <0.001 <0.001 <0.005 <250
製品特性（光学特性）
型番 光学均一性（ppm） 応力二重屈折（nm/cm） 気泡・ストリーク 蛍光
TS-330 NS ≤5 0級、1級、2級 なし
熱吸収係数
型番 熱吸収係数 @1064 nm（ppm/cm）
TS-330 <3
機械性能
仕様 単位 テスト結果
密度 g/cm3 2.2
モース硬度 - 6～7
ヤング率 GPa 74.2
剪断弾性率 GPa 31.22
ポアソン比 - 0.17
圧縮強度 GPa 1.13
引張強度 MPa 49
曲げ強度 MPa 94.3
電気的性質
仕様 単位 テスト結果
誘電率（20℃, 500MHz） - 3.9
抵抗率（20℃） Ω·cm >1×101Ω·cm
誘電損失角（tanδ, 500MHz） - <0.001
抵抗率 Ω 8.0×1015
熱的性質
仕様
歪点
(η=1014.5dPa·s)		 1000℃
アニール点
(η=1013dPa·s)		 1160℃
軟化点
(η=107.6dPa·s)		 1620℃

TS-330L 低OH合成石英

用途：
工業用レーザー向け小型保護ミラー、窓用ミラーなどの光学部品
特長：
OH含量 < 250 ppm
非常に低い不純物元素含有量
純度分析例
含有量（ppm, wt%） Li Na K Mg Ca Cu Al Cr Fe Ti OH
TS-330L <0.01 <0.02 <0.01 <0.01 <0.01 <0.005 <0.01 <0.005 <0.005 <0.005 <250

TS-1330 低OH合成石英

用途：
産業用検査装置用レンズ、露光装置用レンズなど
特長：
3D 無条線（ストリーク）
高光学均一性および低応力複屈折へのカスタマイズ対応可能
純度分析例
含有量（ppm, wt%） Li Na K Mg Ca Cu Al Cr Fe Ti OH
TS-1330 <0.001 <0.015 <0.010 <0.005 <0.005 <0.001 <0.003 <0.001 <0.001 <0.005 <50
光学的性質
型番 蛍光 応力二重屈折（nm/cm） 気泡 ストリーク
TS-1330 無 ≤5 00級、0級 5
△n 均一性グレード（単位：ppm）
型番 HH H1 H2 H3 H4 H5 H10 H20
TS-1330 ≤0.5 ≤1 ≤2 ≤3 ≤4 ≤5 ≤10 ≤20

TS-2330 低OH合成石英

用途：
大口径レンズ、ウィンドウミラー など
特長：
光学均一性および応力複屈折をカスタマイズ可能
355 nm、532 nm、1064 nm などの波長帯で高透過率を有する
純度分析例
含有量（ppm, wt%） Li Na K Mg Ca Cu Al Cr Fe Ti OH
TS-2330 <0.001 <0.015 <0.005 <0.001 <0.005 <0.001 <0.003 <0.001 <0.001 <0.005 <250
光学的性質
* ストリークは ISO-10110 を参照。254 nm 水銀ランプによる励起で測定。
型番 応力二重屈折（nm/cm） 気泡 ストリーク* 蛍光
TS-2330 ≤5 00級、0級、1級、2級 5級 無
熱吸収係数（Thermal Absorption）
* ストリークは ISO-10110 を参照。254 nm 水銀ランプによる励起で測定。
型番 熱吸収係数 @1064 nm（ppm/cm）
TS-2330 <3
屈折率
波長 λ (nm) 屈折率 n 波長 λ (nm) 屈折率 n
248.3 1.50836 632.8 1.45716
365 1.47467 643.8 1.45685
404.6 1.46976 656.3 1.45651
435.8 1.46683 706.5 1.45529
479.9 1.46364 852.1 1.45261
486.1 1.46326 1013.98 1.45039
546.1 1.46022 1529.6 1.44442
587.6 1.4586 1970.1 1.43873
589.3 1.45854 2325.4 1.43303
Sellmeier 色散定数
型番 B1 C1 B2 C2 B3 C3 B4 C4
TS-2330 0.124307 0.006456 0.823954 0.006473 0.156097 0.017157 0.673277 74.923787

TS-2230 低OH合成石英

用途：
半導体製造用部材
特長：
金属不純物含有量 < 50 ppb
気泡率が低い
ヒドロキシル含有量（OH） < 250 ppm
純度分析例
含有量（ppm, wt%） Li Na K Mg Ca Cu Al Cr Fe Ti OH
TS-2230 ≤0.001 ≤0.005 ≤0.005 ≤0.005 ≤0.005 ≤0.001 ≤0.008 ≤0.001 ≤0.001 ≤0.008 <250
製品特性
型番 サイズ（mm） 公差（mm） 製品特長
YS-2230A 300 × 350 長/幅 ±10
厚さ ±10		 高純度、HO含有量低、カスタムサイズ対応可能
YS-2230B 500 × 500
YS-2230C 700 × 700
YS-2230D 1450 × 550 × 70

TS-2340 高OH合成石英

用途：
大口径光学レンズなど
特長（製品優位性）
185～2500 nm 波長帯で高透過率
低不純物元素含有量
大口径対応
純度分析例
含有量（ppm, wt%） Li Na Mg Al K Ca Ti Cr Mn Fe Co Ni Cu Total OH
TS-2340 <0.003 <0.005 <0.001 <0.003 <0.005 <0.004 <0.001 <0.001 <0.001 <0.001 <0.001 <0.001 <0.001 <0.5 <1200
光学的性質
* ストリークは ISO-10110 を参照。
型番 光学均一性（ppm） 応力二重屈折（nm/cm） 気泡・ストリーク*
TS-2340 ≤5 ≤5 0級、1級、2級、5級

TS-1336 紫外用合成石英

用途：
放射線耐性光学部品 など
特長：
1D/3D ストリークフリー（条線なし）
高光学均一性
深紫外線照射に対する耐性
光学的性質
型番 光学均一性（ppm） 応力二重屈折（nm/cm） 気泡 総金属不純物（ppb） ストリーク等級* OH（ppm） 蛍光
TS-1336 ≤5、≤2、≤1 ≤5、≤2、≤1 00級、0級 <20 3D ≤50 なし
TS-2336 ≤5、≤2、≤1 ≤5、≤2、≤1 00級、0級、1級 <50 1D ≤200 なし
  1. 光学均一性および応力複屈折の指標は、お客様の要求に応じてカスタマイズ可能です。
  2. TS-1336 は三次元方向の透過光すべてが ISO-10110 クラス5 ストリーク等級を満たします。
    TS-2336 は指定の透過光方向のみが ISO-10110 クラス5 ストリーク等級を満たします。
光学用合成石英 物理性能（気泡等級）
気泡等級 横断面積合計＊①（mm2） 最大気泡直径＊②（mm）
00級 （備考③参照） （備考③参照）
0級 ≤0.002 ≤0.030
1級 ≤0.010 ≤0.063
2級 ≤0.030 ≤0.100
  1. 100 cm3 の石英ガラス中の気泡横断面積合計
  2. 石英ガラス中の最大気泡直径
  3. 暗室下、強光（≥20000 lux）で検査、肉眼で気泡が見えない場合