石英ウェーハ

用途：
TGV、DOE、PLC、AWG など基板
特長：
極めて低い金属不純物含有量
高い屈折率均一性
気泡なし
高い表面光沢・平滑性
OH含有量 <50 ppm
TWシリーズ TW-1804 TW-1806 TW-1808 TW-1812
サイズ inch 4 6 8 12
厚さ(mm) 0.05～2 0.25～5 0.3～5 0.4～5
公差 直径(mm) ±0.1 ±0.1 ±0.1 ±0.1
厚さ(mm) カスタム対応 カスタム対応 カスタム対応 カスタム対応
光学的性質 折射率 n@365nm 1.474698 1.474698 1.474698 1.474698
折射率 n@546.1nm 1.460243 1.460243 1.460243 1.460243
折射率 n@1014nm 1.450423 1.450423 1.450423 1.450423
内部透過率(1250～1650nm) >99.9% >99.9% >99.9% >99.9%
透過率(1250～1650nm) >92% >92% >92% >92%
加工精度 TTV(um) <3 <3 <3 <3
Flatness(um) ≤15 ≤15 ≤15 ≤15
Roughness(nm) ≤1 ≤1 ≤1 ≤1
Bow(um) <5 <5 <5 <5
機械的性質 密度(g/cm3) 2.2 2.2 2.2 2.2
モース硬度 6～7 6～7 6～7 6～7
ヤング率(GPa) 74.2 74.2 74.2 74.2
剪断弾性率(GPa) 31.22 31.22 31.22 31.22
ポアソン比 0.17 0.17 0.17 0.17
圧縮強さ(GPa) 1.13 1.13 1.13 1.13
引張強度(MPa) 49 49 49 49
曲げ強度(MPa) 94.3 94.3 94.3 94.3
熱的性質 歪点
(η=1014.5dPa·s)		 1000℃ 1000℃ 1000℃ 1000℃
アニール点
(η=1013dPa·s)		 1160℃ 1160℃ 1160℃ 1160℃
軟化点
(η=107.6dPa·s)		 1620℃ 1620℃ 1620℃ 1620℃
純度分析例
含有量（ppm, wt%） Li Na K Mg Ca Cu Al Cr Fe Ti OH
TWシリーズ <0.001 <0.005 <0.005 <0.005 <0.005 <0.001 <0.005 <0.001 <0.002 <0.008 <50