組成	Y2O3(10 mol%)-ZrO2(90 mol%)
結晶系	立方晶
結晶構造	CaF2型
格子定数	a=0.5139 nm
融点	2500 ℃
密度	6.05 g/cm3(20 ℃)
誘電率	27
熱膨張係数	10.3×10-6/℃

※お客様のご要望により特殊仕様も承りますのでお問い合わせください。

サイズ (外形公差：±0.1mm 厚み公差：±0.05mm)	10×10×0.5 t 15×15×0.5 t
面方位 (公差：±0.5°）	(100), (111)
研磨	片面研磨、両面研磨
表面粗さ	Ra≦1.0 nm Rmax≦5.0 nm